1、光刻机：精度比肩国际主流设备，全国首台国产商业该类半导体设备已进入应用测试

近日，作为基地首批签约孵化项目之一，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

爱建证券指出，SEMI数据显示，2024年全球光刻设备市场规模达295.7亿美元，Mordor Intelligence预计全球光刻机市场规模到2029年将达378.1亿美元，2024-2034复合增长率为5.0%。在国产半导体产业链的通力合作下，越来越多的国产光刻机产业链企业取得显著进展，建议关注相关的投资机会。

A股上市公司中

博众精工：公司2024年下半年博众仪器正式发布热场发射电子源、高稳定度直流高压电源和高稳定度恒流源，这些产品不仅是透射电子显微镜的关键部件，还可以用于扫描电镜、聚焦离子束、电子束光刻机等领域设备。

路维光电：公司90nm、40nm在光刻机方面都需要使用电子束光刻机搭配干法制程技术，公司已经针对半导体掩膜版在电子束光刻、干法制程等技术方面开展了相应研究，不断进行技术突破。

龙图光罩：公司IPO募集资金将直接用于电子束光刻机等一系列高端设备购置及产线建设，推动 90nm、 65nm 及更高制程节点半导体掩模版的技术突破，补强产业发展短板，提升自主可控水平。

2、数据中心电池：中温固体氧化物燃料电池研制成功

固体氧化物燃料电池（SOFC）因高效率和长寿命而备受关注，但其运行温度通常高达700—800℃，需使用昂贵的耐高温材料，这制约了其广泛应用。据最新一期《自然·材料》杂志报道，日本九州大学研究团队研制出可在300℃中温条件下高效运行的新型SOFC，有望推动低成本、低温SOFC的开发，并可大幅加快其商业化进程。

国金证券姚遥认为，SOFC凭借更高的能源转换效率、更多样的燃料选择，在数据中心冷热电联供、船舶电源、煤气化发电等场景应用前景广阔。美国、欧洲、日本等国家基本实现了SOFC的商业化运行，我国的SOFC产业处在工业示范向商业应用的过渡阶段，商业化曙光开始显现，拥有SOFC原材料生产、单电池生产能力或SOFC整体系统的设计开发技术能力的企业最具备发展潜力。

A股上市公司中

潍柴动力：已经实现了SOFC技术的工程化突破，掌握新一代SOFC关键核心技术，其2023年2月发布的120KW产品是全球首款大功率金属支撑SOFC，净发电效率超过60%，热电联产效率达到92.55%，在大型SOFC系统中全球最高。

顺络电子：通过控股子公司信柏陶瓷与臻泰能源合作成立柏泰公司进入固体氧化物电池（SOC，包括SOFC与SOEC等）及相关行业领域，子公司专注于新型高温燃料电池技术所用的复合功能陶瓷片的研发、生产和销售。